尾氣（氫氣+氯硅烷）回收技術
為節約能源資源、發展循環經濟、保護環境提供技術解決方案和專用裝備，主要包括節能產業、資源循環利用產業和環保裝備產業，涉及節能環保技術與裝備、節能產品和服務等；涉及領域包括：節能技術和裝備、高效節能產品、節能服務產業、先進環保技術和裝備、環保產品與環保服務。為用戶提供高效節能、先進環保、資源循環利用關鍵技術裝備、產品和服務。
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新材料工藝裝備
尾氣（氫氣+氯硅烷）回收技術
為節約能源資源、發展循環經濟、保護環境提供技術解決方案和專用裝備，主要包括節能產業、資源循環利用產業和環保裝備產業，涉及節能環保技術與裝備、節能產品和服務等；涉及領域包括：節能技術和裝備、高效節能產品、節能服務產業、先進環保技術和裝備、環保產品與環保服務。為用戶提供高效節能、先進環保、資源循環利用關鍵技術裝備、產品和服務。
主要通過低溫吸收，變溫及變壓吸附等工藝，將氫氣及氯硅烷從工藝廢氣中分離出來以達到循環利用的目的。
技術優勢：
u 氫氣回收率高，氫氣回收率≥ 80% ；
u 通過 STC 吸收原料氣中的氯硅烷，達到最大程度回收氯硅烷，原料重復利用；
u 通過干燥吸附 - 再生 - 二次吸附，最大限度的回收氫氣，減少氫氣排放，同時提高氫氣的純度；
u 利用變壓吸附的廢氣對變溫吸附設備進行反吹，節約公用工程用氣；
u 采用全新的脫氧技術，節能環保；
采用變溫吸附和變壓吸附串聯操作，能夠快速有效地達到氫氣提純的目的；此方法廢氣處理量大。
