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尾氣(氫氣+氯硅烷)回收技術


為節約能源資源、發展循環經濟、保護環境提供技術解決方案和專用裝備,主要包括節能產業、資源循環利用產業和環保裝備產業,涉及節能環保技術與裝備、節能產品和服務等;涉及領域包括:節能技術和裝備、高效節能產品、節能服務產業、先進環保技術和裝備、環保產品與環保服務。為用戶提供高效節能、先進環保、資源循環利用關鍵技術裝備、產品和服務。

主要通過低溫吸收,變溫及變壓吸附等工藝,將氫氣及氯硅烷從工藝廢氣中分離出來以達到循環利用的目的。

技術優勢:

u 氫氣回收率高,氫氣回收率≥ 80%

u 通過 STC 吸收原料氣中的氯硅烷,達到最大程度回收氯硅烷,原料重復利用;

u 通過干燥吸附 - 再生 - 二次吸附,最大限度的回收氫氣,減少氫氣排放,同時提高氫氣的純度;

u 利用變壓吸附的廢氣對變溫吸附設備進行反吹,節約公用工程用氣;

u 采用全新的脫氧技術,節能環保;

采用變溫吸附和變壓吸附串聯操作,能夠快速有效地達到氫氣提純的目的;此方法廢氣處理量大。

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